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技术文章--现代光学玻璃精密器件技术介绍

来源:本站   时间:2017-06-01  阅读:184

1. 何为精密光学玻璃器件

现代物理发展中随着原子分子物理研究的深入,对光学器件的精密化程度提出了更高的要求, 例如做原子冷却,光频标领域中会使用到石英玻璃真空腔器件来搭建磁光阱进行原子囚禁,这时会对真空腔的真空度,玻璃表面的平整度以及表面镀膜性能有极高的要求,这时候就需要对玻璃进行精密加工以满足其光学性能。所用到的材料包括石英玻璃和PYREX玻璃等。

                                                                                                                     典型的磁光阱结构

各种真空腔结构 

2. 现代光学玻璃精密仪器制造所用技术

   a)光胶合工艺(原子键合技术)

原理: 通过两个互相分开的部件表面上的原子之间的互相作用(相当 于原子键,远远超过共价键等),再辅佐以特殊的后续处理等,使得 两个原先分离的界面,永久的紧密结合(融合)。
性能: 通过原子级的结合,a)不仅结合强度极高---相当于一个无法分 开的整体结构,强度超过 8MPa;b) 气密性极高---目前的测定条件 下,超过 10-11m Pa M3/Sec 气密性。c) 界面没有光吸收;d)可以作 为光学核心元件,也可以作为具有复杂内部结构的机械核心元件。 已经被广泛地使用在各类科技前沿的领域中。使用温度条件是材料 本身的软化点等。例如石英材料制作的成品,可以高到 1200 度以上。 

b)光敏或者热敏胶合技术

       常温条件下,通过使用光敏或者热敏胶,胶合的成品具有光学特性。缺点是不耐高温,一般-20 度到+60 度,主要使 用于民用产品。 

c) 玻璃粉胶合技术

应用特殊微细玻璃粉作为胶合材料,可以制作各类形 状的光学部件。具有耐高温(400~900°C),超高结合强度的优点。缺 点是胶合面上存在光吸收。主要使用在暴光机等中,与胶合平行方向(不 穿过胶合层)作为通光方向時使用。 

d) 高温烧制结合技术

       虽然是最原始的玻璃结合技术,不过精度非常之高, 可以达到微米 um 级精度。 

3. 主要应用

       医疗仪器中的各种Flow-cell,曝光机中使用的椭圆反射镜,各类MOT超高真空腔,生化分析成型玻璃比色皿,MEMS领域使用的石英材质的微芯片。